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    大會新聞

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    毛智彪

    寧波南大光電材料有限公司 副總經理
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    毛智彪先生,化學博士,于1989年赴美國倫斯勒理工學院學習。1996年加入Shipley公司(現為陶氏化學),參與由美國半導體技術聯盟(Sematech) 領導的ArF光刻材料研究項目。 2000年起在英特爾、 宏力半導體、 凸版光掩模等國內外晶圓制造廠和光掩模制造廠從事圖形化工藝研發,參與和領導了130nm至14nm工藝的研發, 并實現了130nm至28nm邏輯、 SRAM、 閃存、彩色圖像感應等芯片的生產。獲得國外專利授權27篇,國內專利授權269項、發表技術論文25篇?,F任寧波南大光電材料有限公司副總經理,主要負責ArF光刻膠產品的開發和產業化工作。

    演講題目:

    ArF光刻膠產品開發和產業化進展

    ArF Photoresist Product Development and Industrialization Progress

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