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    李俊華

    中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司 董事長
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    李俊華,博士/教授,中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司董事長。2000年畢業于武漢交通科技大學,同年進入華中科技大學機械工程博士后流動站,從事博士后研究工作。2016年起擔任中國船舶第七一八研究所所長、黨委副書記。自主持七一八所工作以來,獲得省部級及以上科技成果獎47項,首次以第一完成人獲國家科技進步二等獎,獲得授權專利210項。

    2020年起擔任中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司董事長,在全國范圍打造了“四基地、七倉儲、四中心”產業布局,公司被列入國資委“雙百行動”計劃、國家發改委“國企混改”試點單位,主要產品三氟化氮、六氟化鎢、三氟甲磺酸的國內市場占有率保持領先?!芭扇稹逼放平许懱貧鈽I內。

    演講題目:

    集成電路用電子氣體的現狀和發展預期

    Current Status and Development Expectation of Electronic Gas Used in Integrated Circuits

    演講摘要:

    集成電路制造用材料好比產品生存所需的“糧食、水和空氣”,是集成電路產業發展的基礎,在集成電路制造技術不斷升級和產業的持續創新發展中扮演著重要角色。

    電子氣體作為重要的集成電路制造用材料之一,在集成電路制造中被廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積等涉及晶圓制造的主要工藝環節。其產品品質直接關系到集成電路器件的性能和產品成品率。因而電子氣體是影響芯片制造和器件性能的核心材料?;仡櫴宓陌l展歷程,隨著集成電路的發展,電子氣體在產品品類、純度、市場規模等方面有了配套的發展。放眼未來幾年,集成電路技術將繼續通過“尺寸微縮”和三維系統集成提升集成密度兩個方向發展,對應新的技術節點,電子氣體一方面將在控制精度等方面更加嚴苛,另一方面也會引入對新型氣體品類的需求,同時對現有氣體的容量也會產生新的變化。

    中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司LOGO:


     

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