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    團體標準立項公告

    團體標準立項公告

    來源:
    2019/06/17
    瀏覽量

    各有關單位:

    經集成電路材料產業技術創新聯盟(簡稱:ICMTIA)標準委員會審查,現決定開展如下6項團體標準的制定工作:

    2019-10LX-ICMTIA 《集成電路用固體ArF光刻膠單體》

    2019-11LX-ICMTIA 《集成電路用液體ArF光刻膠單體》

    2019-12LX-ICMTIA 《集成電路用ArF干式光刻膠》

    2019-13LX-ICMTIA 《集成電路用ArF浸沒式光刻膠》

    2019-14LX-ICMTIA 《集成電路用光刻膠檢測方法》

    2019-15LX-ICMTIA 《集成電路用300mm硅外延片》

    項目歸口管理單位為ICMTIA標準委員會,歡迎與本標準有關的科研機構、相關企業、使用單位等加入本標準的起草制定工作,有意參與者請與標委會辦公室聯系。

    如有單位或個人對以上標準項目存在異議,請在公告之日起10個工作日內將意見反饋至標準委員會辦公室。

     

    聯系人:劉 巖

    電  話:010-82358415

    郵  箱:liuyan@icmtia.com

     

     

     

    集成電路材料產業技術創新聯盟

    二零一九年六月十七日

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